TEK-NANO1000 | |
外形尺寸 | 3.8x2.5x2.2m |
腔体尺寸 | Φ1100x1000mm |
设备功率 | 75千瓦（KVA） 380V 50HZ |
抽气系统 | 机械泵（1套） |
真空测量系统 | 电阻规，电离规 |
真空加热系统 | 大功率加热器（3套） |
冷却系统 | 全腔体循环水冷 |
腔体转架 | 三级自转转架（1套） |
靶源数 | 溅射靶2套 |
电源 | 偏压电源（1套） |
控制系统 | 可编程控制柜+电脑 |
镀膜温度 | 80-300度 |
镀膜种类 | DLC，CrN，TiN，TiCN，TiAlCrN等单层复合纳米涂层 |
镀膜工艺 | 随机附送镀膜工艺 |
苏州泰尔康涂层科技有限公司成立与2014年，公司位于中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区阳浦路78号 ，经过十多年的技术沉淀和持续创新，我们已经成为PVD镀膜行业的佼佼者。